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一、电子工业用超纯水概述
电子工业用超纯水来清洗，像半导体，液晶显示，高精度线路板，还有一些电子器件和微电子工业等。集成电路的集成度跟水质的要求有着密切联系，集成度高，对水质的要求也随之提高。行业标准中，把电子工业部电子级水质分为五种，即0.5MΩ.cm、2MΩ.cm、10MΩ.cm、15MΩ.cm、18MΩ.cm，用这五个标准来区分不同水质。
二、电子工业用超纯水设备的工艺流程
1、超纯水的传统工艺中，离子交换树脂的技术基本工艺流程是，原水经过砂碳过滤器处理再进入精密过滤器，经过阳、阴两床最后用混床到达纯水箱，再由纯水泵进入后置精密过滤器达到用水点标准。
2、反渗透与离子交换法混合的工艺流程是原水经过砂碳过滤器处理进入精密过滤器，由经过反渗透设备到达纯水箱，最后经过混床处理到达超纯水箱，最后由超纯水泵加压到后置精密过滤器完成用水点。
三、电子工业超纯水设备特点
现在一些设备的水箱中均设有液位控制，一些泵中也设有高低压保护。可以在线检测水质的仪表也有PLC的编程控制器。构成电子工业超纯水设备的主要系统有三大预处理过滤器，还有一个反渗透主机再加上离子交换混床等。这种先进工艺设备为用户解决了很多问题，真正的做到了无人看守，与传统工艺相比，性价比和设备的可靠性更高。