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超纯水管道工程清洗、钝化处理、消毒
1.去离子水循环预冲洗：将贮液罐、水泵、流量计与需钝化的管路连接成一个循环通路，在贮液罐里注入足量的去离子水，开启水泵进行循环，循环15分钟后打开排水阀，边循环边排放。
2.碱液循环清洗：将NaOH用热水(70摄氏度以上)配制成1%(W/V)的溶液，用水泵循环30分钟以上，打开排水阀，排放碱液。
3.超纯水管道冲洗：将去离子水加入贮液罐，启动水泵，打开排水阀，边冲洗边排放，排放时间不少于30分钟。
4.钝化：超纯水管道工程处理用去离子水将硝酸配制成8%的酸液，在49~52摄氏温度下循环60分钟排放。
5.冲洗：用常温去离子水冲洗5分钟。
6.洁净管道设计纯蒸汽消毒：将纯蒸汽通入整个超纯水管路中，每个用水点冲洗15分钟。
超纯水管道工程施工质量要求
①、整个工艺过程中需要的材料必须符合设计要求和有关规定;
②、整个施工过程中，必须始终保持良好的洁净环境，尽最大可能使施工环境洁净度要求越高越好，以便更好地保证工程质量;
③、焊缝成型必须均匀、美观，不允许有未焊透、未熔合、表面气孔、错边等缺陷
④、管道预制加工及安装过程中，焊接工序为关键工序，必须严格控制，施焊时，管道内一定要充氩保护，焊工持证上岗。
⑤、管道与碳钢接触处，均加设塑料或橡胶材料隔离，防止产生晶间腐蚀。
⑥、隐蔽管道必须先做压力测试，合格后方可隐蔽。
⑦、竣工后和交付前进行吹洗。
⑧、各种管道的保温工作，必须要强化实验或严密性实验合格后，按施工图的技术要求施工。
⑨、管道穿墙不应有接头、焊缝、并应加套管。进入室内管道处理方法见详图。
⑩、直立管子的阀门，一般应安装在操作面1.2米处，安装的各种阀门应处于关闭状态。