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表 30万级洁净室洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级
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空气洁净 度等级 |
大于或等于表中粒径的最大浓度限值（Pc/m3） | |||||
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0.1μm |
0.2μm |
0.3μm |
0.5μm |
1μm |
5μm | |
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1 |
10 |
2 |
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2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
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3 |
1000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
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4 |
10000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 |
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5 |
100000 |
23700 |
10200 |
3520 |
832 |
29 |
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6 |
1000000 |
237000 |
102000 |
35200 |
8320 |
293 |
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7 |
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352000 |
83200 |
2930 |
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8 |
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3520000 |
832000 |
29300 |
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9 |
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35200000 |
8320000 |
293000 |
注:
①每个采样点应至少采样3次.
②本标准不适用于表征悬浮粒子的物理性,化学性,放射性及生命性.
③根据IAC电子空气净化机工艺要求确定1～2种粒径.
④各种要求粒径D的粒子最大允许浓度Cn由公式(3.0.1)确定,要求的粒径在0.1～5μ m范围,包括0.1μm及5μm.
式中 Cn——大于或等于要求粒径的粒子最大允许浓度(pc/m3).Cn是以四舍五入至相 近的整数,有效位数不超过三位数.
N——洁净度等级,数字不超出9,洁净度等级整数之间的中间数可以按0.1为最 小允许递增量.
D——要求的粒径(μm).
0.1——常数,其量纲为μm.
3.0.2 空气洁净度等级所处状态(空态,静态,动态)应与业主协商确定.
3.0.3 空气洁净度的测试方法按附录C要求进行.