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由于仪器调试的需要，我们选用精密减压阀和可调速微型泵组成了供气装置。现将各部分介绍如下。
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普通减压阀不能满足提供精确稳定气源压力的要求，我们选用的精密减压阀输出压力的波动可以小于最大输出压力的1%。精密减压阀具有很高的调压精度是由于其特殊的结构和制造精度。精密减压阀由三部分组成：起直动减压阀作用的主阀部分、起放大作用的包括固定阻尼孔和喷嘴-挡板元件的整个控制半桥、控制半桥进口压力稳定器。它比内部先导型减压阀增加了稳定控制半桥进口压力的装置。当输入的气源压力上升时，控制半桥进口压力稳定器内部的气室压力上升，会使膜片上移，稳定阀口的开度减小，导致节流作用增加，使气室压力回降而保持不变，实现控制半桥进口压力的稳定，控制主阀膜片和阀芯上的平衡力，使输出压力更加稳定。
在气泵的选择上，经过比较我们选择了市场上最先进的“气海”FAY微型可调速泵。FAY可调速泵已经使用一年多时间，性能稳定，噪声也小，好于曾经用过的国产泵。可调速泵配置进口无刷电机，杜绝了以前配置的有刷电机的高压杂波，解决了泵对控制电路的干扰问题。自带PWM（脉宽调制）线，能方便可靠地调节流量，能量效率高，克服了原来有刷电机降压调速的缺点。能输出电机转速信号，实现了对泵工况的实时监控，发生问题能及时报警，使用更加安全。该泵属于体积泵，结构特点决定了流量具有一定波动性，咨询厂家后安装了大小合适的缓冲罐。精密减压阀和可调速微型泵的组合使流量和压力完全达到了平稳精确的要求。(ZX20120424)