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真空干燥是将物料置于负压条件下，并适当通过加热达到负压状态下的沸点或者通过降温使得物料凝固后通过融点来干燥物料的干燥方式。 物料内水分在负压状态下溶点沸点都随着真空度的提高而降低，同时辅以真空泵间隙抽湿降低水汽含量，使得物料内水分等溶液获得足够的动能脱离物料表面。真空干燥由于处于负压状态下隔绝空气使得部分在干燥过程中容易氧化等化学变化的物料更好的保持原有的特性，也可以通过注入惰性气体后抽真空的方式更好的保护物料。
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真空干燥方式各种各样究其根本而言可分为通过沸点和通过融点两种。一、通过沸点干燥。干燥过程中，液体水分汽化有蒸发和沸腾两种方式。水在沸腾时的汽化速度比在蒸发时的汽化速度快得多，水分蒸发变成蒸汽可以在任何温度下进行。水分沸腾变成蒸汽，只能在特定温度下进行，但是当降低压强的时候，水的沸点也降低。例如，在19 .6kPa气压下，水的沸点即可降到60°C。真空干燥机就是在真空状态下，提供热源，通过热传导、热辐射等传热方式供给物料中水分足够的热量，使蒸发和沸腾同时进行，加快汽化速度。同时，抽真空又快速抽出汽化的蒸汽，并在物料周围形成负压状态，物料的内外层之间及表面与周围介质之间形成较大的湿度梯度，加快了汽化速度，达到快速干燥的目的。二、通过融点干燥（又称之为冷冻干燥）。干燥过程中首先将将湿物料（或溶液）在较低温度下（-10—-50℃）冻结成固态，然后在高度真空（130～0.1Pa）下，将其中固态水分直接升华为气态而除去的干燥过程，也称升华干燥。
真空干燥具有的这些优点使其应用日益广泛。真空干燥的主要不足是生产效率低，产量小，需要一套能长期运转的真空系统，要求关键的微型真空泵具有很高的寿命和可靠性。长寿命微型真空泵对生产商的设计、制造水平要求较高。目前国内一些厂商缺乏技术投入，制造的微型泵设计、选材不佳，寿命短、故障多，即使暂时满足流量压力等要求也不能保证可靠性，甚至有的只在外观上简单仿造外国和国产名牌泵。目前国内市场生产低端微型真空泵的厂家众多，高端微型真空泵主要有德国KNF、美国THOMAS、美国GAST、成都气海。国产的只有成都气海微型真空泵能与进口品牌抗衡。(ZX20120522)