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(ZX20120730) 就是说，可以通过PWM方式改变泵电机（无刷电机）的转速，从而改变泵的流量等参数。这种调速真空泵、调速气泵还有调速水泵，属于微型泵的高端产品，特别是还带有FG转速反馈信号的产品更是凤毛麟角，属于高端中的精品，它们更便于实现自动化，广泛用于有智能化要求的各种仪器、设备等。要完全使用调速气泵的功能需要有一套控制电路，输出PWM信号控制泵，还可接收泵反馈的FG信号，实现闭环控制。对于PWM控制详解如下：
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PWM是英文“Pulse Width Modulation”的缩写，“脉冲宽度调制”，简称脉宽调制。它是利用微处理器的数字输出来对模拟电路进行控制的一种非常有效的技术，广泛应用于测量分析、功率控制与变换等许多领域。一种模拟控制方式，根据相应载荷的变化来调制晶体管栅极或基极的偏置，来实现开关稳压电源输出晶体管或晶体管导通时间的改变，这种方式能使电源的输出电压在工作条件变化时保持恒定。
PWM是一种对模拟信号电平进行数字编码的方法。通过高分辨率计数器的使用，方波的占空比被调制用来对一个具体模拟信号的电平进行编码。PWM信号仍然是数字的，因为在给定的任何时刻，满幅值的直流供电要么完全有(ON)，要么完全无(OFF)。电压或电流源是以一种通(ON)或断(OFF)的重复脉冲序列被加到模拟负载上去的。通的时候即是直流供电被加到负载上的时候，断的时候即是供电被断开的时候。只要带宽足够，任何模拟值都可以使用PWM进行编码。
对于VML系列调速真空泵、FML系列调速气泵，PWM信号的高电平应在2～5V之间，低电平应在0～0.8V之间，频率应在15KHz～25KHz之间。
对于VLK系列、FLC系列调速泵，PWM信号的高电平应在2～5V之间，低电平应在0～0.8V之间，频率应在20KHz～30KHz之间。
如果你不用调速气泵的FG反馈信号和PWM功能它还是可以正常运转，当成普通微型泵一样使用。但比起普通微型泵，它具有极低的干扰、超长的寿命，而且还有自我保护功能，如：过热保护、过载保护。