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由于超声波清洗行业的用水要求较高，所以一般多采用先进将反渗透技术和EDI离子交换技术有机地结合在一起的超纯水装置作为超声波清洗用超纯水制备的主要设施。
用超纯水进行超声波清洗的优点
1、清洁度高、效果好，且全部工件清洁度一致;
2、清洗速度快，提高生产效率，不须人手接触清洗液，安全可靠超声波清洗机;
3、对深孔、细缝和工件隐蔽处亦可清洗干净;
4、对工件表面无损伤，节省溶剂、热能、工作场地和人工等。
超声波清洗用超纯水设备工艺流程
原水-原水加压泵-多介质过滤器-活性炭过滤器-软水器-精密过滤器-第一级反渗透 -PH调节-中间水箱-第二级反渗透(反渗透膜表面带正电荷)-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器- 微孔过滤器-用水点 推荐新工艺
原水-原水加压泵-多介质过滤器-活性炭过滤器-软水器-精密过滤器-一级反渗透 设备-中间水箱-中间水泵-离子交换器-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-微孔过滤器-用水点传统工艺
原水-原水加压泵-多介质过滤器-活性炭过滤器-软水器-精密过滤器-一级反渗透机-中间水箱-中间水泵-EDI系统-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-微孔过滤器-用水点新工艺
此外，由于超声波清洗方式超过一般的常规清洗方法，特别是工件的表面比较复杂象一些表面凹凸不平、有盲孔的机械零部件，一些特别小而对请洁度有较高要求的产品如：钟表和精密机械的零件，电子元器件，电路板组件等，而这些产品对清洗水质的要求严格。因此，只有超纯水符合超声波清洗的要求。