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就工业超纯水器水处理系统而言，其采用的工艺关键在于水源的水质以及用水的目的，因此所选定的工艺基本可分为预处理系统、深度处理系统及终端处理系统三部分。一般工业超纯水设备的预处理包括多介质过滤器、活性炭过滤器、软化器、除铁除锰过滤器、超滤、微滤等;深度处理为膜法处理及离子交换;后处理系统为杀菌、离子交换等。
主要特点：
1、设备结构合理，处理能力大;
2、设备操作简单合理，可根据用户喜好采用自动或手动操作;
3、所采用材料均为优质不锈钢或者碳钢衬胶。
4、所需备品备件规格少，更换简单。
预处理系统就是采用机械过滤、吸附、混凝等形式近可能的去除水中的固体颗粒、胶体、悬浮物、游离性余氯及有机物等，并降低进水浊度、色度、臭味、硬度等来保证预处理的出水能够达到深度除盐系统的进水要求。
工业超纯水器水处理系统深度处理系统介绍
主要特点：
1、操作简单、维护方便;
2、系统可为自动或手动运行。
3、系统排放水不会给环境造成任何污染;
4、与传统除盐设备如电渗析、阴阳床相比，无须酸碱再生、维护费用低、占地位置小。
国内早期采用离子交换技术来做为深度处理系统。由于离子交换使用一段时间后需要进行酸碱再生处理，其再生液排放后容易造成环境污染，而且维护费用较高，故现在较多的采用技术成熟的膜法处理。膜法处理有超滤、反渗透及钠滤处理。超滤一般用于预处理不属于深度处理系统。反渗透主要是去除水中盐分、金属离子、微生物来保证最终出水的要求或符合终端处理系统的进水要求。
工业超纯水设备系统终端处理系统
主要特点：
1、操作简单、维护方便，不需要备用可以连续出水;
2、与传统设备相比体积比较小，维护费用低;
3、系统可为自动或手动运行;
4、系统排放水不会给环境造成任何污染。
终端处理系统根据最终用水使用大致可分为两种，一种是饮用水的制取;另外一种为超纯水的制取。做为饮用水的后处理系统主要采用臭氧消毒，臭氧是特别强烈的氧化剂，具有有高效瞬时的灭菌的功能，同时臭氧反应后的生成物是氧气，其性能优于氯与紫外线，是高效的无二次污染的氧化剂。正是臭氧的这种特性，在最近几十年中广泛运用在水处理系统中。作为超纯水的终端处理系统主要采用最先进的连续电除盐简称EDI技术或混床进一步去除水中的各种离子。
工业超纯水器水处理系统的EDI装置是利用混合离子交换树脂吸附给水中的阴阳离子，同时这些被吸附的离子又在直流电压的作用下，分别透过阴阳离子交换膜而被去除的过程，在运行的过程中持续的对树脂进行再生。混床同样是利用阴阳离子树脂交换水中各种盐分，到达一定程度后需要通过酸碱进行再生，在一套水处理系统中往往都需要采用一用一备形式才能使系统连续出水。