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总体设计思路
露点的测量方法有直接测量和间接测量两种方法，由于露点直接测量价格高，工业无法承受，现采用间接测量的方法，将露点的测量转化为温度和湿度的测量。本设计是利用高分子材料湿度传感器测量露点，将六氟化硫的露点测量的特点与湿度传感器的性质结合起来。
在电路设计方面，由湿敏电容与555定时器组成振荡电路，利用振荡电路的输出频率电信号与电容容量的关系，实现湿度信号转化为频率。由智能温度传感器DSl8B20组成的电路来测量温度。将得来的温湿度信号由单片机系统实现控制，最终实现六氟化硫气体的露点测量。设计的整体框图如图1所示。
硬件设计
温度测量
在设计过程中选用了美国Dallas公司最新推出的DSl8B20数字式智能温度传感器，它是单线数字式测温芯片，它能在现场采集温度数据，并将温度数据直接转换成数字量输出。它能够直接读出被测温度并且可根据实际要求通过简单的编程实现9～12位的数字值读数方式。而且采用了三线制与单片机相连，将测温部分与A／D转换于一体，减少了外部硬件电路，具有低成本和易使用的特点。
单线式数字温度传感器DSl8B20测温范围为－55～125℃，精度为±2℃，而在－10～85℃范围内，精度为±O.5℃。
DSl8820可以采用两种方式供电，一种是采用电源供电方式(电源电压范围为3.O～5.5V)，此时DSl8820的脚1接地，脚2作为信号线，脚3接电源。另一种是寄生电源供电方式，在本课题中采用电源供电的方式。
DSl8820温度传感器与单片机连接电路如图2所示。
湿度测量
SF6高压电器要求SF6的湿度相当低。一般的传感器难于达到测量低湿的要求。对于低湿测量(在30％以下)使用电容式湿度传感器为宜。
湿敏电容是由高分子材料作为基底，在其上下表面蒸镀一薄层微孔电极，构成一个平行板电容器；当气体的相对湿度发生变化时高分子材料的介电常数随着改变，导致湿敏电容的容量发生变化，从而实现相对湿度△x％RH。
Humirel公司的电容式湿度传感器，工作范同宽(1％～99％RH)，线性度好，响应时间短(典型值10s)，可以工作于－40～100℃，具有较高的可靠性和长期的稳定性，其典型的标称电容值为180PF(55％RH)，推荐温度系数为0.04PF／℃。高分子薄膜电容式湿度传感器的敏感量为相对湿度。
在设计中，为将湿敏电容容量的变化转化为电信号，采用了一片555定时器。555定时器电路是一种双极型集成电路，由于它的结构独特，只要在外部引脚配上适当的阻容元件便可构成脉冲产生与变换电路，因此被应用广泛。
555定时器构成的多谐振荡器与单片机的连接电路如图3所示。
由湿敏电容与555振荡器的连接电路图，振荡器的频率输出与湿度的关系式，表1给出了二者之间的关系。
控制和显示单元
单片机系统中，使用的显示器主要有LED（发光二极管显示器）和LCD（液晶显示器）。LCD是一种被动式显示器，由于它的功耗极低、抗干扰能力强，因而在低功耗的单片机系统中大量使用。鉴于上述的原因，使用LCD显示。
Motorola公司生产的MCl4543芯片是一种常用的LCD锁存／译码／驱动电路。MCl4543使用十分的简单，只要在LE端加高电压，BI加低电平，Ph端输入方波，A、B、C、D输入BCD码，则在译码笔形输出端就会输出与Ph同相或反相的方波驱动对应的液晶笔画亮或暗，从而显示出数字。LCD与单片机接口如图4所示。
方波发生器由集成电路CD4060和谐振频率为30720Hz的晶振等元件组成。cI)4060是14位二进制串行计数、分频器和振荡器。本电路采用外接30720Hz的晶振来组成晶体振荡器，其振荡信号经CI)4060内部9次分频后，在Q9端输出准确的60Hz频率信号。方波发生器的构成电路如图5所示。
软件设计
硬件电路完成以后，开始进行系统软件设计。进行软件的总对独立的模块。接着画出每一个专用程序模块的详细流程图，并选择合适的语言编写程序，最后按照软件总体设计时给出的结构框图，将各模块连接成一个完整的程序。
按照系统控制功能要求，确定了系统软件的主要功能有：系统初始化、采集传感器输出的温度、湿度信号、对采集后的数据进行处理、计算露点等、显示数据等。按照软件功能要求，给出了程序总体结构框图，如图6所示。
按照程序总体结构进行模块化设计，其中DSl8820温度传感器的程序设计流程如图7所示。
结束语
采用间接测量方法是.T.业露点控制的发展方向，但如何在低湿区提高露点的测量精度，还有待进一步研究。因为这样可以扩大露点控制器的使用范围，就可以改造一大批低露点的测试仪器，具有宽广的市场前景。