“3、它的测量方法是,把测量度数的最小格例如1mm扩大100倍、1000倍,从而获得0.01mm、0.001mm的精度;”
您这里说的是分辨率或者叫解析度,与精度是两个不同的概念。
1、这里确实存在概念不清的问题;
2、当我们说一个测量读数的精确度时,经常说精确到哪一位,实际上就是个测量量具的分辨率问题;
3、测量量具的分辨率,就是读数用的分度盘上的最小“格”;
4、测量仪表的精确度、精确度等级又是另一码事;
5、测量仪表的误差,有各种表示方法,如最大绝对误差、最大相对误差、仪表的引用误差等等;
6、光栅的刻线数,例如100线/1mm、1000线/1mm,就是作为量具的分辨率为10μm、1μm;
7、光栅的刻线数,例如100线/1mm、1000线/1mm,就是作为测量数据的精确度为10μm、1μm,或者说精确到10μm、1μm;
“对于常规 50线/mm 刻线的光栅来说,输出电信号的分辨率常见的有5um、1um、0.5um、0.1um、0.05um,还有更高分辨率的规格。”
1、100线/1mm的光栅,如果用计数器计得50个"莫尔条纹",就表示位移是0.50mm;
2、如果100线/1mm的光栅,如果用计数器计得1个"莫尔条纹",就表示位移是0.01mm;
3、如果100线/1mm的光栅,如果用计数器计得0.1个"莫尔条纹",就表示位移是0.001mm,这时的分辨率是1μm;
4、如果100线/1mm的光栅,如果用计数器计得0.01个"莫尔条纹",就表示位移是0.0001mm,这时的分辨率是0.1μm;
5、所以,100线/1mm的光栅,如果把"莫尔条纹"的长度再10等分、100等分时,就可获得分辨率为1μm、0.1μm;