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1.性能
精，这里指高精度，这自然是是高端伺服的必要条件，包括百万线以上的反馈分辨率，角秒量级定位控制能力，2～10万比1以上的速度环速比，优于1％～0.1％的力矩控制能力等；
稳，这里是指高平稳性，而非稳定性，稳定性则是对所有伺服的要求。高平稳性是指速度或力矩的控制平稳性，如果能达到额定速度的10万分之一量级的速度控制精度，0.1％量级的力矩控制能力，则可以视作高端伺服。
快，是指快速响应能力，由于伺服的惯量不同，出力范围不同，所以该项不易给出明确的数据指标。
参数和负载适应能力，比如自适应滤波器，多频点陷波器，快速参数自整定，自适应控制等等。
2.功能
主要指高端功能，比如：
非脉冲接口的电子齿轮和速度同步功能；
电子凸轮和表格位置执行能力；
自动加减速规划和加加速度（Jerk）控制能力；
测头同步和相位同步、套准控制功能；
虚拟主轴和主从轴同步功能；
基于IEC61131-3的复杂PLC编程和内部运动规划能力等等。
3.接口
网络化，是高端伺服标志之一，不过也要看是什么样的网络拓朴和协议体系，个人以为普通的RS485，CAN，或者Modbus等，算不得高端，须具备等时同步能力的工业以太网，例如Ethernet/CIP Motion，Powerlink，Profinet IRT，EtherCAT，SERCOS III，SynQNet等，或者光纤专用网络，如SERCOS，SSCNET III,以及FANUC的内部光纤专网等，才算得上高端。
此外某些高性能的模拟速度接口的伺服可能仍不失为高端伺服，但是脉冲位置接口的伺服则无论如何也算不得高端。
可编程数字I/O，配合伺服内嵌的基于IEC61131-3的复杂PLC编程和内部运动规划，完成除网络接口指令之外的可编程接口控制功能。
4.电机
高端伺服系统的所采用伺服电机本体的性能也必须考虑，比如：
较高的体积出力比；
极低的齿槽定位力矩，需低于额定力矩的0.1～0.2％以下；
反电势波形失真度；
额定力矩的波动水平，不得高于额定力矩的0.5～1％以下；
机械加工和装配精度，比如轴的端跳和径跳，法兰和轴的垂直度，止口和轴的同轴度等