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薄膜测量软件产品-美国科学计算国际公司(SCI)
供应椭偏仪-薄膜测量软件产品-美国科学计算国际公司(SCI)
供应薄膜测试仪器-美国科学计算国际公司(SCI)
网址:www.sci-soft.com
Software Products Introduction软件产品简介
SCI为薄膜设计,材料分析,椭圆偏光法,分光光度测定法提供不同的工具.最近的光学薄膜软件包括:
一.FilmWizard(OpticalThinFilmSoftware光学薄膜软件)
FilmWizardTM专业版是最强大的,多功能的,用户友好界面的软件包,不断地提供给薄膜工程师和科学家使用.FilmWizardTM结合最优化和综合设计能力,是强有力的工具,可用于分析光谱和椭圆偏光数据,建模薄膜层,测定真实厚度和多层薄膜结构的回归曲线.
FilmWizardTM支撑几种商用分光光度计和偏振光椭圆率测量仪的目标指示数据的直接输入.如果FilmWizardTM现在不能用户的特殊的分光光度计或偏振光椭圆率测量仪,SCI愿意免费为用户定制FilmWizardTM用以输入用户的ASCII.数据文件.如果用户使用FilmWizardTM嵌入式宏语言时有其他特殊要求,SCI愿意为用户定制.
二.FilmMonitor?(MonitorDepositionSoftware监视沉积软件)
FilmMonitorTM是一种光沉积监控软件工具,用于多层薄膜设计转化为光监控管理表.FilmMonitorTM支撑多波长,多芯片,厚度和系数加工因子.
三.FilmEllipse椭偏数据生产线工艺软件包
FilmEllipseTM是一种易用的用于分析和捕获椭圆偏光数据的生产线上工艺型可定向软件包.FilmEllipseTM允许用户不仅作为偏振光椭圆率测量仪(椭偏仪)附带的软件功能,而且可以得到宽范围应用的解决方案.
一. FilmWizard(OpticalThinFilmSoftware光学薄膜软件)
Design设计|Materials材料|Analysis分析|Optimization优化|Synthesis综合|Results计算结果|Macro宏
FilmWizardTM专业版是最强大的,多功能的,用户友好界面的软件包,不断地提供给薄膜工程师和科学家使用.FilmWizardTM结合最优化和综合设计能力,是强有力的工具,可用于分析光谱和椭圆偏光数据,建模薄膜层,测定真实厚度和多层薄膜结构的回归曲线.
合并五种新光学薄膜综合方法,包括针综合.
提供七种最优化算法,三种是全局优化.
当用户为任何一个需要最优化的变量输入最大和最小范围时,提供强制最优化选项
计算和最优化透射,反射系数,吸收比,透射相位,反射相位,椭圆偏光参数等.
合并几种独特的材料/层模型给予薄膜设计工程师有力的灵活的确定材料特性.
2D,轮廓,3D图形
合并VisualBasic语言..
二.FilmMonitor?(MonitorDepositionSoftware监视沉积软件)
FilmMonitorTM是将多层薄膜设计转变为光学监视管理表的薄膜软件工具.为光学涂层技术员/操作员很快创立容易理解的光学监视管理表.从FilmWizardTM设计输入或直接输入FilmMonitorTM.一个设计中可监视上到100个芯片.芯片材料和入射角可个别指定.
FilmMonitorTM支持监视:透射,反射系数,椭圆偏光,参数(tan(y),cos(D),y,D)
FilmMonitorTM支持绝对或相对单位输出.相对模式,每层起始增益和偏移可调整.
三.FilmEllipseTM椭偏数据生产线工艺软件包
FilmEllipseTM是分析和捕获椭圆偏光数据的生产线上工艺型易用的软件包.FilmEllipseTM可使用户得到宽范围的应用解决方案.同时解决复指数(n+ik)和多层薄膜结构厚度.允许用户输入,多波长和多入射角时,收集的椭圆偏光和分光光度数据工作模式:工程模式或制造模式.制造模式要求很少的或毫无个人计算机\薄膜光学经验给予独特的一致的层厚度解决方案.大多数商业软件可利用三个椭偏测量波长,并独立地处理每个波长,结果导致三个不同的厚度分析(一对一的波长).FilmEllipseTM使用情况是物理上仅有一个厚度值,并计算三个波长一致性的单一厚度.全局解决方案/最优化方法用于获得最好的解决方案,因此避免局部最小风险,极小化测量误差.任一厚度或折射指数最大和最小范围
FilmEllipseTM灵活地输入和存储用户定义域自动保存,自动成组实验数据,仪器参数设置,层结构,注释后期分析的用户定义数据库.
SCI FilmTek TM Systems(薄膜测量仪器测试功能说明)可测量:\+_Nq~
Index of Refraction折射指数(at 2μm thickness) Thickness Measurement Range 厚度测量范围,K^q\
Maximum Spectral Range 最大光谱范围##b
Standard Spectral Range标准光谱范围F
Reflection反射测量,
Transmission透射测量5wIBS\
Optional Spectroscopic Ellipsometry可选择的光谱椭圆偏光法测量cY
Power Spectral Density功率谱密度测量a
Multi-angle Measurements (DPSD) 多角度测量Y
Both TE & TM Components of Index Multi-layer thickness多层厚度测量gS|p]
Index of Refraction折射系数测量~c=]o%
Extinction (absorption) Coefficient消光(吸收)系数:{P]F
Energy band gap能量带隙测量U4r[n
Composition成分测量c*'nh)
Crystallinity晶状测量DTE;
Inhomogeneous Layers非均匀层测量}KF
Surface Roughness表面粗糙度测量L"
A variety of options can extend these standard measurement capabilities.us
?德州大学奥斯汀中国学生学者联谊会 -- The University of Texas at Austin Chinese Students and Scholars Association Web Forum "
Typical applications典型应用:P
Flat panel display平板显示器薄膜\OLED有机发光二级管薄膜i5
Semiconductor and dielectric materials半导体和电介质材料薄膜\Computer disks计算机磁盘薄膜H4f)L
Multilayer optical coatings多层光学涂层薄膜\Coated glass有涂层的玻璃薄膜>nU3
Optical antireflection coatings光学抗反射涂层薄膜\aser mirrors激光镜薄膜Op)`
Electro-optical materials电镀光学材料薄膜\hin Metals薄金属薄膜6e4,iC
?德州大学奥斯汀中国学生学者联谊会 -- The University of Texas at Austin Chinese Students and Scholars Association Web Forum -a.[
Example Films薄膜范例:)P[
SiOx氧化硅薄膜\a-Si非晶硅薄膜\Alq3t9;1a
SiNx氮化硅薄膜\a-C:H氧化类金刚石薄膜\HILo
DLC类金刚石薄膜\ITO锡铟氧化物薄膜\BEMLy>R
SOG 玻璃上系统薄膜\Polysilicon多晶硅薄膜\GEML)
Photoresist光刻胶薄膜\Polyimide聚酰亚胺薄膜\ETL-:
Thin Metals薄金属薄膜\Color Dye彩色染料薄膜\REML&oO
?德州大学奥斯汀中国学生学者联谊会 -- The University of Texas at Austin Chinese Students and Scholars Association Web Forum L
Example Substrates衬底范例:9c*"
Silicon 硅衬底GaAs砷化镓衬底ox
SOI衬底Glass玻璃衬底V*-
SOS衬底Aluminum铝衬底/LX2:P
?德州大学奥斯汀中国学生学者联谊会 -- The University of Texas at Austin Chinese Students and Scholars Association Web Forum X
SCI Metrology Products(测量产品)^
Affordable Systems for Virtually Every Budget(针对实际中每一预算的合理仪器配置)d\@#z
SCI FilmTek Systems(仪器型号及测试功能配置说明) FilmTek 1000 and FilmTek 1500(可见光常规入射到近红外的反射测量最优配置的仪器),@PP)
FilmTek 2000 and FilmTek 2000M (可同时测量厚度,折射指数, 消光系数) FilmTek 2000SE(测量190-1700nm的光谱椭偏仪,可同时测量厚度, 折射指数和消光系数) FilmTek 3000 and FilmTek 3000M (透明衬基沉积薄膜的透射和反射测量,适合平板显示器) SCI’s FilmTek 3000M 平板显示器测量测量仪器性能参数I6yX
FilmTek 4000 (SCI最先进厚膜仪器) - (折射指数分辨率0.00002, 可测量各向异性双折射材料, 可加热平台用于温度变化时表现折射指数-热膨胀特性, 最好的应用是测量平面波导薄膜的折射指数和厚度) FilmTek 4000EM-DUVQ
FilmTek 4000 EM-DUV Module Integrated Metrology Modules集成测量模块 ^!@
Software Products软件产品ohh5
Film Wizard (Optical Thin Film Software光学薄膜软件) (光谱分析和椭圆偏光法分析, 薄膜层建模, 实际厚度和多层薄膜结构指数回归曲线) FilmMonitor (Monitor Deposition Software监视沉积软件)'i@U/
FilmEllipse (用于分析和捕获椭圆偏光数据的工艺型可定向软件包)B9x%
?德州大学奥斯汀中国学生学者联谊会 -- The University of Texas at Austin Chinese Students and Scholars Association Web Forum &u"vw
Applications应用vd
Characterizing Oxide Films for Waveguide Applications(表现波导应用氧化物薄膜特性)ol,%
FilmTek 4000 Repeatability(可重复性) Characterizing Film Properties versus Temperature(表现薄膜温度特性)q}Saw
Measuring Color Coordinates: Colored Resists(测量彩色座标系) Characterizing OLED Display Materials(表现OLED有机发光二级管显示材料特性) Characterizing Birefringent Materials: PET(表现双折射材料特性) Measuring Surface Roughness(测量表面粗糙度) Characterizing Very Thin ONO Films(表现很薄ONO薄膜特性) Characterizing Advanced Low-k Materials(表现先进低K材料特性) Characterizing High-k Materials(表现高K材料特性) Characterizing SiGe(表现锗化硅特性) Measuring Silicon-on-Insulator (SOI) Films(测量绝缘体上硅薄膜)fr
Characterizing Amorphous Silicon and Polysilicon(表现非晶硅和多晶硅特性)rRCa
Characterizing Silicon on Sapphire(表现兰宝石上硅特性) Characterizing Photomasks(表现光掩模特性)
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