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4.1一般术语
4.1.1压力计pressure gauge：测量气体或蒸汽压力的仪器。
4.1.2真空计vacuum gauge：测量低于一个大气压力的气体或蒸汽压力的仪器。注：某些常用的真空计实际上不直接测量压力，而测量在规定条件下与压力有关的某些其它物理量。
4.1.2.1规头(规管)gauge head：某些种类真空计的一个部件，它含有压力敏感元件并直接与真空系统连接。
4.1.2.2裸规nude gauge ：一种没有外壳的规头，其敏感元件直接插入真空系统。
4.1.2.3真空计控制单元gauge control unit ：某些种类真空计的控制单元包含电源和真空计工作需要的全部电路。
4.1.2.4真空计指示单元gauge indicating unit ：某些种类真空计的指示输出信号部件，通常以压力单位刻度。
4.2真空计一般分类
4.2.1压差式真空计differential vacuum gauge：测量同时存在于一个敏感元件两侧面上压力之差的一种真空计。例如这个元件为弹性膜片或可动分隔液体。
4.2.2绝对真空计 absolute vacuum gauge：通过测定物理量本身来确定压力的一种真空计。
4.2.3全压真空计total pressure vacuum gauge:测量混合气体全压力的一种真空计。
4.2.4分压真空计；分压分析器partial pressure vacuum gauge; partial pressure analyser：测量混合气体组分分压力的的质谱仪式的真空计。
4.2.5相对真空计relative vacuum gauge ：通过测量与压力有关的物理量并与绝对真空计比较来确定压力的一种真空计。
4.3真空计特性
4.3.1真空计测量范围pressure range of vacuum gauge：在规定条件下，由真空计指示的示值误差不超过最大允许误差的压力范围。注：某些真空计测量范围与气体性质有关，在这种情况下测量压力范围是对氮气而言。
4.3.2灵敏度系数sensitivity coefficient：对于一给定压力，真空计指示的读数变化，除以对应压力的变化。注：某些真空计灵敏度系数与气体性质有关，在这种情况下灵敏度通常指氮气而言。
4.3.3相对灵敏度系数relative sensitivity factor：对于一给定的气体，真空计的相对灵敏度系数为：真空计对该气体的灵敏度除以在相同压力和相同工作条件下真空计对氮的灵敏度。
4.3.4 电离规系数（压力单位倒数）ionization gauge coefficient (in inverse pressure units)：对于一给定气体，电离规系数为：离子流除以电子流和对应压力的乘积，并应指出工作参数。
4.3.5规管光电流photon current of vacuum gauge head：阴极发射的电子打在加速极上，产生软X射线，使收集极产生光电发射，收集极上产生一个与压力无关与离子流同向的电流，该电流即称规管光电流。
4.3.6等效氮压力equivalent nitrogen pressure ：作用在真空计上某一气体的压力为纯氮所产生相同的压力读数值。
4.3.7X射线极限值 X-ray limit：一种热阴极电离真空计的X射线极限值为与主要由离子收集极发射的光电子产生的残余电流所引起的相同读数的纯氮压力值。
4.3.8逆X射线效应anti X-ray effect：阴极发射的电子打在加速极上产生软X射线射到规管金属壁上，使其发射光电子，其中能量较大的打到收集极上，使收集极回路产生了一个与离子电流反向的电流，即逆X射线效应。
4.3.9布利尔斯效应blears effect：真空度较高的系统烘烤结束后，由于连接规管的管壁对有机蒸汽的吸附，直到表面饱和为止，致使规管反应压力比真实压力低，这种现象叫布利尔斯效应。
4.4全压真空计
4.4.1液位压力计liquid level manometer：通常为一种U型管绝对压差计。管中的敏感元件是一种可动的隔离液体（例如汞）。通过测量液位差便得到压力值。
4.4.2弹性元件真空计elastic element vacuum gauge：压差可以通过测量弹性元件位移（直接法）或保持它原来位置需要的力（回零法）来测定，例如电感式、电容式、电阻式薄膜真空计，布尔登（Bourdon）真空计等。
4.4.3压缩式真空计compression gauge：已知气体体积，在待测量的压力下，按已知比例压缩（例如通过液柱——泵的移动），于是产生较高测量的压力的一种真空计。对于满足PV-T关系的气体，如果较高压力用液位压力计测量，这样的真空计是绝对真空计。如麦克劳真空计（Mcleod gauge）
4.4.4压力天平pressure balance：一种绝对真空计，在其内，待测量的压力适当地加到一个精确匹配的已知横截面积活塞-气缸部件上，所产生的力与一组已知质量砝码的重力进行比较。
4.4.5粘滞性真空计viscosity gauge ：通过测量作用在两个元件表面上的粘滞力来测定压力的一种真空计。它的两个元件温度相同。一个元件处于静止，另一个相对于第一个运动。这种基于与压力有关的粘滞性的真空计，有衰减真空计（如振膜式真空计），分子牵引真空计等。
4.4.6热传导真空计thermal conductivity vacuum gauge ：通过测量保持在不同温度的两固定元件表面间热能的传递来测量压力的一种真空计。这种基于与压力有关的气体热传导性的真空计，有皮拉尼真空计，热偶真空计，热敏真空计，双金属片真空计。
4.4.7热分子真空计thermo-molecular gauge：通过测量气体分子打击保持在不同温度的两固定表面的净动量传输率来测定压力的一种真空计。在真空计中，气体分子选择性地作用在可动元件上。与气体分子平均自由程比较，两固定表面间的距离必须是很小的。例如：克努曾真空计（knudsen gauge）、反磁悬浮热分子真空计（diamagnetic levitation thermo-molecular gauge）。
4.4.8电离真空计ionization vacuum gauge：通过测量待测气体在控制条件下，电离所产生的离子流来测定压力的一种真空计。
4.4.9放射性电离真空计radioactive ionization gauge：通过放射源射线使气体电离所产生离子的一种电离真空计。例α射线真空计，β射线真空计等。
4.4.10冷阴极电离真空计cold cathode ionization gauge：通过冷阴极放电产生离子的一种电离真空计。该计通常有磁场存在，用来延长电子行程，以增加产生的离子数。在规头内或在规头外也可以用其它方法使其启动或维持放电。
4.4.11潘宁真空计penning gauge：带有磁铁和特定电极结构的一种冷阴极电离真空计。阴极由两个连接的平行圆盘组成。阳极通常是环形的，被安装在圆盘之间并与其平行，磁场与圆盘垂直。
4.4.12冷阴极磁控管真空计cold cathode magnetron gauge：圆筒阴极在圆筒阳极内同轴排列的的一种冷阴极电离真空计。它的磁场与电场垂直。如果里面电极是阳极，那么这个真空计叫做“反磁控管真空计”。
4.4.13放电管指示器discharge tube indicator：从冷阴极放电（通常为射频放电）颜色和形状，可以粗略判别气体种类和压力的一种透明管。
4.4.14热阴极电离真空计hot cathode ionization gauge：通过加热阴极发射电子使气体电离的一种电离真空计。
4.4.15三极管式真空计triode gauge：具有一般三极电子管结构的一种热阴极电离真空计，灯丝装在以栅极作为阳极的轴线上，板极作为离子收集极与阳极同心。
4.4.16高压力电离（中真空）真空计high pressure (medium vacuum) ionization gauge：它的测量范围比一般三极管真空计压力量程范围向中真空范围移动了的一种热阴极电离真空计。
4.4.17B-A型电离真空计Bayard-Alpert gauge：用装在圆筒栅极轴线上一根细的金属丝作离子收集极和栅极外面的阴极，来降低X射线极限值的一种热阴极电离真空计。
4.4.18调制型电离真空计modulator gauge：一种装有调制电极的B-A型热阴极电离真空计。当改变调制极的电位时，通过测量在离子收集极上电流效应可以估算残余电流（包括任何X射线电流）影响。
4.4.19抑制型电离真空计suppressor gauge：通过安装在离子收集极附近的抑制电极，使离子收集极发射的二次电子返回到它自身，来降低X射线极限值的一种热阴电离真空计。
4.4.20分离型电离真空计extractor gauge：通过使用一个短而细的金属丝做离子收集极来降低X射线极限值的一种热阴极电离真空计。这个收集极装在屏蔽罩内，圆筒栅极外面轴线上，因而收集了来自电离区域的离子。
4.4.21弯注型电离真空计bent beam gauge：离子从电离区域拉出进入一个静电偏转极的一种热阴极电离真空计。
4.4.22弹道型电离真空计 orbitron gauge ：使发射电子以长的弹道轨道飞行，于是增加了每个电子所产生离子数的一种热阴极电离真空计。发射发生于圆筒离子收集极和同轴的细金属丝之间的静电场。低的电子流降低了X射线和解吸的离子效应。
4.4.23热阴极磁控管真空计hot cathode magnetron gauge：类似于在截止状态下工作的简单的圆柱磁控管式的一种电离真空计。在其内，用磁场来延长电子路径，以增加产生的离子数。
4.5分压真空计（分压分析器）
4.5.1射频质谱仪radio frequency mass spectrometer： 离子沿直线路径飞行，并在飞行中穿过一系列交替加有射频电压栅极孔被加速，进入静电场，该场仅允许射频场加速的离子达到收集极的一种质谱仪。
4.5.2四极质谱仪（四级滤质器）quadrupole mass spectrometer；quadrupole mass filer：离子进入四电极（通常为杆）组成的四极透镜系统，透镜上加以成临界比的射频和直流电场，使仅有一定的质荷比的离子通过四极透镜而被检测的一种质谱仪。
4.5.3单极质谱仪momopole mass spectrometer：采用一个L形电极和与其对称放置的单柱，提供了象四极透镜的一个象限那样形状的一个场，离子从L形电极角附近注入并使有一定质荷比（取决于电场）的离子通过电场而被检测的一种质谱仪。
4.5.4双聚焦质谱仪double focusing mass spectrometer：通过径向静电场和扇形磁场的连续作用来分离离子致使在两个分析器中，离子速度分布是相反的并近似相等的一种质谱仪。
4.5.5磁偏转质谱仪magnetic deflection mass spectrometer：加速的离子在磁场作用下，被分成不同圆弧路径的一种质谱仪。
4.5.6余摆线聚焦质谱仪trochoidal focusing mass spectrometer：离子通过正交电磁场被分离，根据它们的不同质荷比，按照不同的摆线路径来到不同聚焦点上的一种质谱仪。
4.5.7回旋质谱仪omegatron mass spectrometer：由于相互垂直的射频电场和稳定磁场所产生的回旋谐振效应，离子按照半径逐渐增大的螺旋路径被分离的一种质谱仪。
4.5.8飞行时间质谱仪time of flight mass spectrometer：气体被脉冲调制电子束所电离，并且每一簇离子被加速趋向于向漂移空间末端的离子收集极，每簇离子达到的时间差，取决于它们的质荷比的一种质谱仪。
4.6真空计校准
4.6.1标准真空计reference gauges：校准真空计时，用来作量值传递或量值参照的真空计。
4.6.2校准系统system of calibration：校准真空计所用的真空系统。
4.6.3校准系数K calibration coefficient：在校准系统中标准计指示的压力值与被校准计指示的压力值之比。
4.6.4压缩计法meleod gauge method：在等温条件下，用压缩计做标准计与被校计进行比较的校准方法。
4.6.5膨胀法expansion method：在等温条件下，将已知体积和压力的小容器中的永久气体膨胀到已知体积的低压大容器中，根据波义耳定律算出膨胀后的气体压力。膨胀法校准系统是静态校准系统。
4.6.6流导法flow method：流导法即小孔法、泻流法，在等温条件和分子流条件下，使气体通过已知流导的小孔，达到动态平衡时利用小孔的流导和测得的流量计算出压力的一种校准方法。
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4.1.1压力计pressure gauge：测量气体或蒸汽压力的仪器。
4.1.2真空计vacuum gauge：测量低于一个大气压力的气体或蒸汽压力的仪器。注：某些常用的真空计实际上不直接测量压力，而测量在规定条件下与压力有关的某些其它物理量。
4.1.2.1规头(规管)gauge head：某些种类真空计的一个部件，它含有压力敏感元件并直接与真空系统连接。
4.1.2.2裸规nude gauge ：一种没有外壳的规头，其敏感元件直接插入真空系统。
4.1.2.3真空计控制单元gauge control unit ：某些种类真空计的控制单元包含电源和真空计工作需要的全部电路。
4.1.2.4真空计指示单元gauge indicating unit ：某些种类真空计的指示输出信号部件，通常以压力单位刻度。
4.2真空计一般分类
4.2.1压差式真空计differential vacuum gauge：测量同时存在于一个敏感元件两侧面上压力之差的一种真空计。例如这个元件为弹性膜片或可动分隔液体。
4.2.2绝对真空计 absolute vacuum gauge：通过测定物理量本身来确定压力的一种真空计。
4.2.3全压真空计total pressure vacuum gauge:测量混合气体全压力的一种真空计。
4.2.4分压真空计；分压分析器partial pressure vacuum gauge; partial pressure analyser：测量混合气体组分分压力的的质谱仪式的真空计。
4.2.5相对真空计relative vacuum gauge ：通过测量与压力有关的物理量并与绝对真空计比较来确定压力的一种真空计。
4.3真空计特性
4.3.1真空计测量范围pressure range of vacuum gauge：在规定条件下，由真空计指示的示值误差不超过最大允许误差的压力范围。注：某些真空计测量范围与气体性质有关，在这种情况下测量压力范围是对氮气而言。
4.3.2灵敏度系数sensitivity coefficient：对于一给定压力，真空计指示的读数变化，除以对应压力的变化。注：某些真空计灵敏度系数与气体性质有关，在这种情况下灵敏度通常指氮气而言。
4.3.3相对灵敏度系数relative sensitivity factor：对于一给定的气体，真空计的相对灵敏度系数为：真空计对该气体的灵敏度除以在相同压力和相同工作条件下真空计对氮的灵敏度。
4.3.4 电离规系数（压力单位倒数）ionization gauge coefficient (in inverse pressure units)：对于一给定气体，电离规系数为：离子流除以电子流和对应压力的乘积，并应指出工作参数。
4.3.5规管光电流photon current of vacuum gauge head：阴极发射的电子打在加速极上，产生软X射线，使收集极产生光电发射，收集极上产生一个与压力无关与离子流同向的电流，该电流即称规管光电流。
4.3.6等效氮压力equivalent nitrogen pressure ：作用在真空计上某一气体的压力为纯氮所产生相同的压力读数值。
4.3.7X射线极限值 X-ray limit：一种热阴极电离真空计的X射线极限值为与主要由离子收集极发射的光电子产生的残余电流所引起的相同读数的纯氮压力值。
4.3.8逆X射线效应anti X-ray effect：阴极发射的电子打在加速极上产生软X射线射到规管金属壁上，使其发射光电子，其中能量较大的打到收集极上，使收集极回路产生了一个与离子电流反向的电流，即逆X射线效应。
4.3.9布利尔斯效应blears effect：真空度较高的系统烘烤结束后，由于连接规管的管壁对有机蒸汽的吸附，直到表面饱和为止，致使规管反应压力比真实压力低，这种现象叫布利尔斯效应。
4.4全压真空计
4.4.1液位压力计liquid level manometer：通常为一种U型管绝对压差计。管中的敏感元件是一种可动的隔离液体（例如汞）。通过测量液位差便得到压力值。
4.4.2弹性元件真空计elastic element vacuum gauge：压差可以通过测量弹性元件位移（直接法）或保持它原来位置需要的力（回零法）来测定，例如电感式、电容式、电阻式薄膜真空计，布尔登（Bourdon）真空计等。
4.4.3压缩式真空计compression gauge：已知气体体积，在待测量的压力下，按已知比例压缩（例如通过液柱——泵的移动），于是产生较高测量的压力的一种真空计。对于满足PV-T关系的气体，如果较高压力用液位压力计测量，这样的真空计是绝对真空计。如麦克劳真空计（Mcleod gauge）
4.4.4压力天平pressure balance：一种绝对真空计，在其内，待测量的压力适当地加到一个精确匹配的已知横截面积活塞-气缸部件上，所产生的力与一组已知质量砝码的重力进行比较。
4.4.5粘滞性真空计viscosity gauge ：通过测量作用在两个元件表面上的粘滞力来测定压力的一种真空计。它的两个元件温度相同。一个元件处于静止，另一个相对于第一个运动。这种基于与压力有关的粘滞性的真空计，有衰减真空计（如振膜式真空计），分子牵引真空计等。
4.4.6热传导真空计thermal conductivity vacuum gauge ：通过测量保持在不同温度的两固定元件表面间热能的传递来测量压力的一种真空计。这种基于与压力有关的气体热传导性的真空计，有皮拉尼真空计，热偶真空计，热敏真空计，双金属片真空计。
4.4.7热分子真空计thermo-molecular gauge：通过测量气体分子打击保持在不同温度的两固定表面的净动量传输率来测定压力的一种真空计。在真空计中，气体分子选择性地作用在可动元件上。与气体分子平均自由程比较，两固定表面间的距离必须是很小的。例如：克努曾真空计（knudsen gauge）、反磁悬浮热分子真空计（diamagnetic levitation thermo-molecular gauge）。
4.4.8电离真空计ionization vacuum gauge：通过测量待测气体在控制条件下，电离所产生的离子流来测定压力的一种真空计。
4.4.9放射性电离真空计radioactive ionization gauge：通过放射源射线使气体电离所产生离子的一种电离真空计。例α射线真空计，β射线真空计等。
4.4.10冷阴极电离真空计cold cathode ionization gauge：通过冷阴极放电产生离子的一种电离真空计。该计通常有磁场存在，用来延长电子行程，以增加产生的离子数。在规头内或在规头外也可以用其它方法使其启动或维持放电。
4.4.11潘宁真空计penning gauge：带有磁铁和特定电极结构的一种冷阴极电离真空计。阴极由两个连接的平行圆盘组成。阳极通常是环形的，被安装在圆盘之间并与其平行，磁场与圆盘垂直。
4.4.12冷阴极磁控管真空计cold cathode magnetron gauge：圆筒阴极在圆筒阳极内同轴排列的的一种冷阴极电离真空计。它的磁场与电场垂直。如果里面电极是阳极，那么这个真空计叫做“反磁控管真空计”。
4.4.13放电管指示器discharge tube indicator：从冷阴极放电（通常为射频放电）颜色和形状，可以粗略判别气体种类和压力的一种透明管。
4.4.14热阴极电离真空计hot cathode ionization gauge：通过加热阴极发射电子使气体电离的一种电离真空计。
4.4.15三极管式真空计triode gauge：具有一般三极电子管结构的一种热阴极电离真空计，灯丝装在以栅极作为阳极的轴线上，板极作为离子收集极与阳极同心。
4.4.16高压力电离（中真空）真空计high pressure (medium vacuum) ionization gauge：它的测量范围比一般三极管真空计压力量程范围向中真空范围移动了的一种热阴极电离真空计。
4.4.17B-A型电离真空计Bayard-Alpert gauge：用装在圆筒栅极轴线上一根细的金属丝作离子收集极和栅极外面的阴极，来降低X射线极限值的一种热阴极电离真空计。
4.4.18调制型电离真空计modulator gauge：一种装有调制电极的B-A型热阴极电离真空计。当改变调制极的电位时，通过测量在离子收集极上电流效应可以估算残余电流（包括任何X射线电流）影响。
4.4.19抑制型电离真空计suppressor gauge：通过安装在离子收集极附近的抑制电极，使离子收集极发射的二次电子返回到它自身，来降低X射线极限值的一种热阴电离真空计。
4.4.20分离型电离真空计extractor gauge：通过使用一个短而细的金属丝做离子收集极来降低X射线极限值的一种热阴极电离真空计。这个收集极装在屏蔽罩内，圆筒栅极外面轴线上，因而收集了来自电离区域的离子。
4.4.21弯注型电离真空计bent beam gauge：离子从电离区域拉出进入一个静电偏转极的一种热阴极电离真空计。
4.4.22弹道型电离真空计 orbitron gauge ：使发射电子以长的弹道轨道飞行，于是增加了每个电子所产生离子数的一种热阴极电离真空计。发射发生于圆筒离子收集极和同轴的细金属丝之间的静电场。低的电子流降低了X射线和解吸的离子效应。
4.4.23热阴极磁控管真空计hot cathode magnetron gauge：类似于在截止状态下工作的简单的圆柱磁控管式的一种电离真空计。在其内，用磁场来延长电子路径，以增加产生的离子数。
4.5分压真空计（分压分析器）
4.5.1射频质谱仪radio frequency mass spectrometer： 离子沿直线路径飞行，并在飞行中穿过一系列交替加有射频电压栅极孔被加速，进入静电场，该场仅允许射频场加速的离子达到收集极的一种质谱仪。
4.5.2四极质谱仪（四级滤质器）quadrupole mass spectrometer；quadrupole mass filer：离子进入四电极（通常为杆）组成的四极透镜系统，透镜上加以成临界比的射频和直流电场，使仅有一定的质荷比的离子通过四极透镜而被检测的一种质谱仪。
4.5.3单极质谱仪momopole mass spectrometer：采用一个L形电极和与其对称放置的单柱，提供了象四极透镜的一个象限那样形状的一个场，离子从L形电极角附近注入并使有一定质荷比（取决于电场）的离子通过电场而被检测的一种质谱仪。
4.5.4双聚焦质谱仪double focusing mass spectrometer：通过径向静电场和扇形磁场的连续作用来分离离子致使在两个分析器中，离子速度分布是相反的并近似相等的一种质谱仪。
4.5.5磁偏转质谱仪magnetic deflection mass spectrometer：加速的离子在磁场作用下，被分成不同圆弧路径的一种质谱仪。
4.5.6余摆线聚焦质谱仪trochoidal focusing mass spectrometer：离子通过正交电磁场被分离，根据它们的不同质荷比，按照不同的摆线路径来到不同聚焦点上的一种质谱仪。
4.5.7回旋质谱仪omegatron mass spectrometer：由于相互垂直的射频电场和稳定磁场所产生的回旋谐振效应，离子按照半径逐渐增大的螺旋路径被分离的一种质谱仪。
4.5.8飞行时间质谱仪time of flight mass spectrometer：气体被脉冲调制电子束所电离，并且每一簇离子被加速趋向于向漂移空间末端的离子收集极，每簇离子达到的时间差，取决于它们的质荷比的一种质谱仪。
4.6真空计校准
4.6.1标准真空计reference gauges：校准真空计时，用来作量值传递或量值参照的真空计。
4.6.2校准系统system of calibration：校准真空计所用的真空系统。
4.6.3校准系数K calibration coefficient：在校准系统中标准计指示的压力值与被校准计指示的压力值之比。
4.6.4压缩计法meleod gauge method：在等温条件下，用压缩计做标准计与被校计进行比较的校准方法。
4.6.5膨胀法expansion method：在等温条件下，将已知体积和压力的小容器中的永久气体膨胀到已知体积的低压大容器中，根据波义耳定律算出膨胀后的气体压力。膨胀法校准系统是静态校准系统。
4.6.6流导法flow method：流导法即小孔法、泻流法，在等温条件和分子流条件下，使气体通过已知流导的小孔，达到动态平衡时利用小孔的流导和测得的流量计算出压力的一种校准方法。