白光干涉仪目前在3D检测领域是高精度测量仪器，在同等系统放大倍率下检测精度和重复精度都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜，在一些纳米级和亚纳米级的超精密加工领域，除了白光干涉仪，其它的仪器无法达到其加工精度要求。

光学显微干涉测量的基本原理：

　　光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束，一束经被测表面反射回来，另外一束光经参考镜反射，两束反射光最终汇聚并发生干涉，显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。

白光干涉仪的测量应用：

　　以测量单刻线台阶为例，在检查仪器的各线路接头都准确插入对应插孔后，开启仪器电源开关，启动计算机，将单刻线台阶工件放置在载物台中间位置，先手动调整载物台大概位置，对准白光干涉仪目镜的下方。

　　在计算机上打开SuperView W1光学3D表面轮廓仪测量软件，在软件界面上设置好目镜下行的至低点，再微调镜头与被测单刻线台阶表面的距离，调整到计算机屏幕上可以看到两到三条干涉条纹为佳，此时设置好要扫描的距离。按开始按钮，光学3D表面轮廓仪可自动进行扫描测量，测量完成后，软件自动生成3D图像，测量人员可以对3D图像进行数据分析，获得被测器件表面线、面粗糙度和轮廓的2D、3D参数。

　　光学3D表面轮廓仪具有测量精度高、操作便捷、功能全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精密器件的过程用时2分钟以内，确保了检测效率。光学3D表面轮廓仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。