表1　　冲击加载测试结果

图1 锰铜计记录的典型应力波形图（试验20-71）

试验20－71所得应力波形如图1所示。尽管Cu靶中的应力高达107GPa，压阻信号在B点到C点之间呈现出一个较完好的平台，没有出现大幅度的衰减，说明无明显的旁路存在。试验中同时安装了两个传感器，二者的压阻系数相差不到3%，寿命，响应时间等指标上基本雷同，表现出良好的重复性。
　图1中，Al203薄膜封装层的厚度为10.4μm，传感器完整地记录下了加载和卸载的全过程。而在试验20－70中，尽管压力低一些，但由于Al203薄膜的厚度只有4.8μm，所得波形在卸载完毕前已呈开路状态。可见，为保障传感器具有足够长的寿命，绝缘封装层应厚一些为好。
　由以上试验结果得到如图2所示的标定曲线。该曲线近似为一直线，压阻系数为0.0198±0.002GPa-1，比Safa等人[5]和施尚春等人[6]研制的薄膜锺铜计的压阻系数0.0106GPa-l高出近1倍。这些薄膜锺铜计皆采用在位式结构，其中Safa等人的传感器所测的最高压力仅为1.2GPa。而施尚春等人虽进行了5~56GPa的标定，但其传感器的一面采用胶粘PTFE进行封装，并没有根除高压旁路效应。

采用最小二乘法对表1中的数据进行多项式拟合，得标定公式为：
　p(GPa)=6.0371+29.819(ΔR/R0)+21.591(ΔR/R0)2-6.8267(ΔR/R0)3
4　结论
　本文研究的薄膜式锺铜传感器，由于采用Al203封装，后置式结构，杜绝了高压旁路效应，将传感器的高压础上限拓展到100GPa以上。同时，传感器还具有响应快、灵敏高、一致性好等特点，为人们对超高压力进行直接测量提供了有力的分析手段。