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电子超纯水设备采用多介质过滤器、活性炭过滤器作及保安过滤器作为前级处理的设计，有效除去原水中的悬浮物、泥砂、微粒、有机硅胶体、有机物、异味、余氯等杂质，使经过离子交换处理后的水质符合工业生产要求。在经过后端进行精处理系统(混床系统)，使其产水水质满足生产用水的要求.
电子行业超纯水设备的混床原理
a、电解质离子(钙、镁、铁、钠等离子)穿过液膜进入电子超纯水设备内的树脂表面;
b、离子进入树脂内部;
c、离子交换;
d、H离子或OH根离子向树脂外部扩散;
e、H离子或OH根离子进入水中形成H2O。
双床又称复床，复床是用阳、阴两种不同的离子交换的交换器的串联方式，如强酸性阳离子交换树脂和强碱性阴离子交换树脂串联的方式。这种阳床和阴床串联组成的设备称为复床，水先经过阳床除去带正电的离子(如Ca2+、Mg2+、K+、Na+)，并且置换出H+离子到水中;然后除去水中的阴性离子(如SO2-4、Cl-、HCO- 3)，并且置换出OH-离子到水中。同时，H+离子和OH-离子结合形成水H2O，从而达到去离子的作用。
电子工业超纯水设备的EDI原理
EDI 利用混和离子交换树脂吸附水中的阴阳离子，同时这些被吸附的离子又在直流电压的作用下，分别透过阴阳离子膜而被去除。
电子超纯水设备的工作原理是两个淡水室和一个浓水室离子交换过程。面向正极的阴离子膜与面向负极的阳离子膜之间构成浓水室;面向负极的阴离子膜与面向正极的阳离子膜之间组成淡水室。淡水室和浓水室中间夹着阴、阳离子树脂，当水从淡水室和浓水室流过时，离子交换树脂就吸附了水中的离子，在CDI 模块两端的电极提供了横向的直流电场，直流电场驱动离子交换树脂所吸附的离子穿过离子膜，其结果是降低了淡水室中水的离子浓度和增加了浓水室中水的离子浓度，从而使得淡水室中水的纯度越来越高。 CDI 模块就是由许多这样的基本单元组合在一起并联工作的。