Nanoscalema纳米级激光干涉直线编码器

激光头与编码器尺非接触，精度5nm，高速700mm/S。
激光头与编码器尺间隙3±0.1mm；

量程：380mm；

精度：±5nm（175mm）；±1.0µm（380mm）；

重复性：±5nm ；

工作温度：＋10～＋40ºC；最大速度700mm/S；

激光头：尺寸61x33x17mm，激光等级3b，重量70克，9针插头；

高分辨率处理卡：分辨率LSB=5µ÷2^14=0.305nm；传输速度375KHZ；

编码器尺：光栅间距10µm/ 5µm，碳酸钠尺温漂7.0x10^-6/ºC；

石英玻璃尺温漂0.7x10^-6/ºC；

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