静电容量式加速度传感器

单轴加速度传感器　GS1通过静电容量方式检测加速度。
GS1的内部由MEMS的半导体传感器芯片和对传感器芯片输出信号进行放大、修正处理的专用ASIC构成，封装于紧凑型QFN陶瓷中。

这一MEMS的传感器芯片由如图1所示的微小梳齿型的固定电极和可动电极组合构成。可动电极有中央砝码和两侧支撑的弹簧状横粱所构成。如图所示在箭头方向施加加速度，砝码就会移动。此时，可动电极的梳齿与固定电极的梳齿间的静电容量会发生变化。

GS1将这一变化量作为电信号取出，通过专用ASIC进行放大、修正，并作为与加速度成正比的电压输出。

另外，由于可动电极不仅能对动态性的加速度产生反应，也能对静态性的地球重力加速度产生反应而移动，因此利用这一特性，能够检测倾斜。

这种利用机械性的可动部分进行电气检测的力学传感器是成功应用MEMS的小型化、低成本化效果的最好实例之一。

一般情况下，静电容量方式与压电电阻方式相比，温度特性更加稳定，而且容易提高灵敏度和精度。因此，适用于对温度特性及精度有很高要求的车载用途，预计今后在汽车导航系统及车辆稳定装置中的需求会急剧增加

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