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微型真空泵属于薄膜泵，它的原理是电机带动薄膜往复运动，使泵腔容积周期性变化从而吸入、排出流体。微型真空泵避免了活塞式真空泵活塞磨损、污染输送介质的缺点，运动机构与输送介质完全隔离、对介质无污染；非动密封，无泄漏；可靠性好；效率高；体积小、重量轻；具有自吸能力；不怕空转；无需润滑保养；自身噪音低。作为微型真空水泵使用时，无需灌泵，既能抽气又能抽水，无水时不怕干转。微型真空泵的优点尤其是无污染性、自吸性使它在仪器仪表行业得到了广泛运用。以“气海”泵为代表的我国高端微型真空泵质量已经可以与国际名牌产品媲美。最新的使用无刷电机的“气海”调速泵可利用PWM（脉宽调制）线灵活地调节流量，能输出转速反馈信号，更是微型泵自动控制方式的突破。
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我们在试验中运用了多种状态监测、诊断仪器。根据所采集的各种信号，绘制出工作曲线图，做出性能评估报告。特别是气海的微型泵有FG反馈信号，这非常有利于我们的监测。根据不同参数和精度的差异，选择不同的测量方法和工具，仪器。在泵的出口安装流量、压力仪表，绘制出气路系统的压力-流量、效率曲线图。气路系统的效率下降到一定程度时就可以判断为失效。效率参数经微型计算机分析处理，可以较快的判断气路系统的工作情况。
除泵体本身以外，电机也是导致泵失效的主要因素。不同于市场上型号繁多的低端微型泵，高端的微型泵对电机的性能要求很高。试验中需要监测电机的转速、电流等参数。试验是使电机在极端工况下高速连续运转。过去的微型泵配置有刷电机，有刷电机的电刷摩擦大、损耗大。电刷和换向器的接触电阻大，造成电机整体电阻较大，使电机性能下降，影响泵和电机的寿命。“气海”可调速微型泵配置的无刷电机最直接的变化就是没有了电刷产生的电火花，极大减少了电火花对设备的干扰，运转时摩擦力也大大减小，运行顺畅，噪音会低许多，很适合要求较高的设备。无刷电机少了电刷，磨损主要是在轴承上。可调速微型泵设计具有自我保护功能，在电机温度超过限定时能自动停机，大大提升了泵和电机的安全性。用户在同时使用多台微型真空泵时，如果其中有一台泵压力、流量下降时，对整个系统的影响不一定能很快发现。使用“气海”完整版调速微型泵后，泵自身能输出转速信号，可以很方便地监测泵的转速，及时发现问题。 (ZX20120424)