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超纯水在光学领域的应用,如水中含有氯离子，电容器就会漏电。在超纯水系统管道生产中，电子管阴极涂甫碳酸盐，如其中混入杂质，就会影响电子的发射，进而影响超纯水系统管道的放大性能及寿命.
纯水在光学领域中的重要作用日益突出，纯水水质已成为影响光学器件产品质量、生产成品率及生产成本的重要因素之一，水质要求也越来越高。
超纯水管道在生产中，高纯水主要用作纯水清洗和纯水配液，不同的工艺生产中纯水的用途及对水质的要求也不同。超纯水系统管道清洗需用纯水，如水中含有氯离子，电容器就会漏电。在超纯水管道生产中，超纯水管道阴极涂甫碳酸盐，如其中混入杂质，就会影响电子的发射，进而影响超纯水管道的放大性能及寿命.
因此其配液要使用纯水，在超纯水系统管道和阴极射线管生产中，其荧光屏内壁用喷涂法或沉淀法附着一层荧光物质，是锌或其他金属的硫化物组成的荧光粉颗粒并用硅酸钾粘合而成，其配制需用纯水，如纯水中含铜在8ppb以上，就会引起发光变色;含铁在50ppb以上就会使发光变色、变暗、闪光跳跃;含有机物胶体、微粒、细菌等，就会降低荧光层强度及其与玻壳的粘附力，并会造成气泡、条迹、漏光等。
超纯洁净管道在晶体管、集成电路生产中，纯水主要用于清洗硅片，另有少量用于药液配制，硅片氧化的水汽源，部分设备的冷却水，配制电镀液等。集成电路的产品质量及生产成品率关系很大。水中的碱金属会使绝缘膜耐压不良， V族元素会使P型半导体特性恶化，水中细菌高温碳化后的磷(约占灰分的20-50%)会使P型硅片上的局部区域变化为N型而导致器件性能变坏水中的颗粒(包括细菌)如吸附在硅片表面，就会引起电路短路或特性变差。