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SJ6000激光干涉仪测量直线度的应用
szzhongtu5 发表于 2017/2/6 14:13:38 1086 查看 0 回复 [上一主题] [下一主题]
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1.仪器简介
激光干涉仪是以光波为载体，以光波波长为单位的高精度、高灵敏度检测设备，在制造领域应用广泛。
SJ6000激光干涉仪采用高稳定氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术，实现快速(约6分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光输出；采用高精度环境补偿模块、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，结合线性镜组能实现0.5ppm精度的线性测量；结合相应镜组还能实现角度、直线度（平行度）、平面度、垂直度、回转轴等参数的测量，并进行动态分析。
1.1.1. 直线度测量构建
SJ6000激光头射出后的激光由直线度干涉镜以一定的小角度分为两束，并入射到直线度反射镜中。经直线度反射镜反射后，沿着新光路返回到直线度干涉镜中，经直线度干涉镜合束后返回激光头的进光口，当直线度干涉镜偏离光线，则两光束产生光束差，由激光干涉仪探测器探测出来，由软件计算显示出来。
图23-直线度测量原理
在直线度测量过程中，一般尽可能的采用直线度干涉镜相对于直线度反射的运动，这样操作有利于提高测量的准确性和精度。
图24-直线度测量构建
1.1.2. 直线度干涉镜的连接
SJ6000直线度干涉镜提供两种连接方式。除通过夹紧块连接外，还可以通过直线度附件中的M8连接头连接。
图 25直线度附件-M8连接头以及应用
1.1.3. 直线度测量应用
由于导轨磨损、事故造成的导轨损坏以及地基不牢导致的导轨弯曲等，会对机器的定位、加工精度带来直接的影响。直线度测量可以显示出机器导轨的弯曲的情况，并可由生成的直线度误差对机器的性能做出评价和补偿。
直线度测量可以对水平面和垂直面进行测量，这取决于直线度干涉镜和反射镜安装的方法。
1.1.3.1. 机器轴、直线导轨测量
当需要测量导轨较长时，传统的直接测量方法无法提供这样的测量长度和精度。
测量建议将质量较轻的直线度干涉镜作为移动部件，因为较重的反射镜的移动可能会对测量的准确性产生影响。
图26-直线导轨左右方向直线度测量
图27-直线导轨上下方向直线度测量
1.1.3.2. 机床工作台直线度测量
测量时，直线度反射镜固定，直线度干涉镜安装在移动的工作台上，通过直线度干涉镜的移就可以测量工作台的直线度。
图28-机床平台左右方向直线度测量
图29-机床平台上下方向直线度测量
图30-小型工作台直线度测量