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SJ6000激光干涉仪测量直线度的应用

szzhongtu5  发表于 2017/2/6 14:13:38      909 查看 0 回复  [上一主题]  [下一主题]

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1.仪器简介

激光干涉仪是以光波为载体,以光波波长为单位的高精度、高灵敏度检测设备,在制造领域应用广泛。

SJ6000激光干涉仪采用高稳定氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术,实现快速(6分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光输出;采用高精度环境补偿模块、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术,结合线性镜组能实现0.5ppm精度的线性测量;结合相应镜组还能实现角度、直线度(平行度)、平面度、垂直度、回转轴等参数的测量,并进行动态分析。

1.1.1.  直线度测量构建

SJ6000激光头射出后的激光由直线度干涉镜以一定的小角度分为两束,并入射到直线度反射镜中。经直线度反射镜反射后,沿着新光路返回到直线度干涉镜中,经直线度干涉镜合束后返回激光头的进光口,当直线度干涉镜偏离光线,则两光束产生光束差,由激光干涉仪探测器探测出来,由软件计算显示出来。

23-直线度测量原理

在直线度测量过程中,一般尽可能的采用直线度干涉镜相对于直线度反射的运动,这样操作有利于提高测量的准确性和精度。

24-直线度测量构建

1.1.2.  直线度干涉镜的连接

SJ6000直线度干涉镜提供两种连接方式。除通过夹紧块连接外,还可以通过直线度附件中的M8连接头连接。


25直线度附件-M8连接头以及应用

1.1.3.   直线度测量应用

由于导轨磨损、事故造成的导轨损坏以及地基不牢导致的导轨弯曲等,会对机器的定位、加工精度带来直接的影响。直线度测量可以显示出机器导轨的弯曲的情况,并可由生成的直线度误差对机器的性能做出评价和补偿。

直线度测量可以对水平面和垂直面进行测量,这取决于直线度干涉镜和反射镜安装的方法。

1.1.3.1.  机器轴、直线导轨测量

当需要测量导轨较长时,传统的直接测量方法无法提供这样的测量长度和精度。

测量建议将质量较轻的直线度干涉镜作为移动部件,因为较重的反射镜的移动可能会对测量的准确性产生影响。

26-直线导轨左右方向直线度测量

27-直线导轨上下方向直线度测量

1.1.3.2.  机床工作台直线度测量

测量时,直线度反射镜固定,直线度干涉镜安装在移动的工作台上,通过直线度干涉镜的移就可以测量工作台的直线度。

28-机床平台左右方向直线度测量

29-机床平台上下方向直线度测量

 

30-小型工作台直线度测量




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