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超纯水设备系统由预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理组成，目的是将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度后得到高纯度的水。
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超纯水设备系统工艺配置说明
1、原水泵：供预处理系统正常工作的动力源，为保持后序设备的正常运行，增加压力。泵相应设置高过热保护器、压力控制器，出现故障自动报警。
2、原水箱：设高、低水位控制。对系统的给水起调节作用，防止自来水给水不足的影响，同时也可对自来水中的杂质起一定的沉淀作用。
3、全自动过滤器：采用石英砂滤料以除去原水中较大颗粒的悬浮物、泥沙、杂质及铁离子等，降低水的混浊度。
4、全自动活性炭过滤器：利用活性碳的吸附能力有效地吸附原水中的有机物、游离性余氯、胶体、微粒、微生物、某些金属离子及脱色等，使出水余氯含量<0.1mg/L，所以被广泛用于生活用水及食品工业、化工、电力等工业用水的净化、脱氯、除油和去臭等。
5、全自动软化水器：为防止反渗透膜表面结垢，需降低原水中的硬度，所以在反渗透系统前设软化器，使原水硬度降低(一般总硬度低于50mg/L)。
6、保安过滤器：采用5μmPP滤芯以除去原水中微细的悬浮物、泥沙、杂质等
7、高压泵：提供反渗透系统正常工作的动力源，为保持后序设备的正常运行，增加压力。
8、反渗透系统：采用高脱盐率的优质膜元件，单位膜面积的透水速度快、脱盐率高;机械强度好;化学稳定性好，能耐酸碱和微生物的侵袭;使用寿命长，性能衰减小。
9、中间水箱：设高、低水位控制，贮存预处理水，对系统的给水起调节作用。
10、EDI增压泵：为EDI设备提供所需压力。
11、EDI设备：深度除盐。
12、超纯水箱：储存超纯水。