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充SF6气体前必须要测量所充SF6气体的水份含量不超过120×10-6（V/V）,使用SF6充放气设备要对充气管道进行除潮，首先放出一定量将要充入的SF6气体，用来吹出管道及阀门内部的空气，然后对管道进行抽真空至133.3～266Pa，保持10min后，停真空泵，再开启SF6充放气设备的充气阀门对产品充气。充气时应使气体缓慢充入，使液态的SF6气体充分汽化后进入气室，充至0.4MPa（20℃）即可。
如果现场没有SF6充放气设备，则可用气瓶直接充气，先吹出管道及阀门内部的空气，然后将气瓶充气管道接到产品自动接头上，开启气瓶阀门，充入SF6气体至额定压力0.4MPa（20℃）。注意气瓶至充气接头的管道越短越好。