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质量流量控制器, 即Mass Flow Controller（缩写为MFC）, 不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。
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szzunzheng | 当前状态：离线
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szzunzheng 发表于 2007/9/1 17:34:46
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引用 szzunzheng 2007/9/1 17:34:46 发表于2楼的内容
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