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运行中真空断路器灭弧室的真空度低于6.6x10-2pa，新出厂的真空灭弧室低于7.5x10-4pa，即为不合格，造成真空度降低的原因有：真空灭弧室漏气，主要是焊缝不严密或密封部位存在微小漏孔造成。
真空灭弧室内部金属材料含气释放，这种情况是在真空灭弧室最初几次放电过程中使真空度在一段时间内下降，微量气体排尽后，真空度就维持在一定水平上。
常用检查真空度的方法：
①火花计法：这种方法简单，只可做定性检查，让火花计触丝在开关管表面移动，观察管内发光情况，若是淡青色，可判定真空度合格，若为红蓝色，可判断灭弧室已失效，此种方法不适用于陶瓷外壳灭弧室。
②观察开断电流时的弧光，正常应为淡青色，若弧光为紫红色可判断灭弧室已失效。
③工频耐压法：对于10KV真空开关管在断口加42KV1min工频电压应合格。
④真空度测试仪法处理方法：真空度降低后应更换真空灭弧室。