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半导体晶片位置的测定(平板影印术) 高精度位移传感器

zlds210  发表于 2013/7/8 15:58:32      975 查看 1 回复  [上一主题]  [下一主题]

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目标

      1对于在应用于半导体晶片的成产的平板影印术过程中,精确测定Z轴位置,精度保持在亚原子水平。

      2 保持高分辨率和可重复性。

      3 避免不良的影响,例如 抖动,磁滞,以及热漂移等一些列在其他阶段处理中发生的情况。

 

解决方案 

      在精确控制Z轴高度的过程中,晶片所在的位置必须精确地在能源的焦平面上。Kaman高精度位移传感器系统可以准确测量Z轴的位置,并且提供了模拟和数字两种输出信号,以防止超出可承受范围。

 

特点

     1 高精度位移传感器类型:SMT-9700

     2 非接触性:应用涡电流的技术,每一个高精度位移传感器均可以无接触地测量到目标体的位置。

     3 高分辨率:系统可分辨出1纳米的位置改变。

     4 高精度位移传感器可重复使用。

     5 应用广泛。

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  • baominhua

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    baominhua   发表于 2013/10/20 11:19:33

    产品介绍的很全面了,支持一下。。。

    2楼 回复本楼

    引用 baominhua 2013/10/20 11:19:33 发表于2楼的内容

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