-
-
手机阅读
目标
1对于在应用于半导体晶片的成产的平板影印术过程中，精确测定Z轴位置，精度保持在亚原子水平。
2 保持高分辨率和可重复性。
3 避免不良的影响，例如 抖动，磁滞，以及热漂移等一些列在其他阶段处理中发生的情况。
解决方案
在精确控制Z轴高度的过程中，晶片所在的位置必须精确地在能源的焦平面上。Kaman高精度位移传感器系统可以准确测量Z轴的位置，并且提供了模拟和数字两种输出信号，以防止超出可承受范围。
特点
1 高精度位移传感器类型：SMT-9700
2 非接触性：应用涡电流的技术，每一个高精度位移传感器均可以无接触地测量到目标体的位置。
3 高分辨率：系统可分辨出1纳米的位置改变。
4 高精度位移传感器可重复使用。
5 应用广泛。